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光伏，即光伏发电编制，是利用半导体原料的光伏效应，将太阳辐射能转化为电能的一种发电编制。光伏发电编制的能量来源于取之不尽、用之不断的太阳能，是一种干净、安详和可回生的能源。薄膜太阳能电池是一种新式的光伏器件，可以兑现光电转化。在薄膜太阳电池的制备过程中运用林林总总的沉积技术，在基材上镀砷化镓、铜铟硒、碲化镉等原料的薄膜可以大大提高光生电流密度，进而提高改变效率。太阳能电池的沉积工艺如物理气相沉积 「PVD」 或等离子体增深化学气相沉积「PECVD」均需要在真空处境下进行。